يوفر نظام CVD لفرن أنبوب الهواء / الفراغ 1600 درجة مئوية (CVD-TF) بيئة تجريبية مع فراغ وجو يمكن التحكم فيه ودرجة حرارة عالية ، ويستخدم في أشباه الموصلات وتكنولوجيا النانو والألياف وغيرها من المجالات. يعد نظام نمو CVD مناسبًا لعملية CVD ، مثل طلاء كربيد السيليكون ، واختبار موصلية الركيزة الخزفية ، والنمو القابل للتحكم في البنية النانوية ZnO ، وتلبيد الغلاف الجوي بمكثف السيراميك (MLCC) وتجارب أخرى.
1.الفرن مصنوع من امتصاص الفراغ بألياف الموليت متعدد الكريستالات ، ومجال درجة الحرارة موحد وتوفير الطاقة أكثر من 50٪
2 تضمن تقنية تحويل الهواء والعزل الحراري المطورة ذاتيًا عمر الخدمة وتأثير درجة الحرارة الثابتة لكل مكون في الصندوق
3.عند بدء تشغيل الفرن الكهربائي ، سوف تعمل مروحة العادم تلقائيًا في نفس الوقت. بعد الاختبار ، ستستمر مروحة العادم في العمل حتى تنخفض درجة حرارة جسم الفرن عن 60 درجة مئوية ، وستتوقف مروحة العادم تلقائيًا ، مما يحمي سطح جسم الفرن بشكل فعال.
4 يتم فتح باب الفرن بإيقاف التشغيل التلقائي ، ووظيفة الحماية من درجة الحرارة الزائدة ، ووظيفة حماية التسرب لضمان سلامة الاستخدام.
5.تتبنى الدائرة وضع خرج التسخين المستمر ، وإمدادات الطاقة ثنائية الدائرة ، والأسلاك المنفصلة للتيار القوي والضعيف مما يحسن من استقرار النظام
6 تعتمد وحدة التسخين إشارة التيار المستمر لضبط طاقة الخرج ، مما يتجنب تداخل الكهرباء المستحثة في إشارة التحكم.
7. أزرار معدنية منخفضة الجهد تستخدم لأزرار التشغيل ، مع أضواء مؤشر الحالة ، عملية آمنة وبديهية.
8.أجسام الفرن العلوية والسفلية متصلة بمقابس طيران ، وهي آمنة وموثوقة ومريحة للتوصيل.
9 مجموعة دائرة الغاز مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ بدرجة الغذاء 316 ، والذي يتميز بمقاومة التآكل ، ومقاومة التآكل في الغلاف الجوي ومقاومة درجات الحرارة العالية ، وهو غير مغناطيسي.
10.اعتماد أداة عرض التدفق الرقمي ، والتعاون مع وحدة التحكم في التدفق الشامل ، وجمع البيانات والتحكم في التدفق. يتميز بخصائص التكرار الجيد وسرعة الاستجابة السريعة والاستقرار والموثوقية. (نظام التحكم في التدفق الشامل للغاز)
11. وظيفة التحكم التلقائي والتحكم اليدوي ، يمكن لوضع التحكم التلقائي أن يفتح / يغلق مضخة التفريغ تلقائيًا من خلال القيمة المحددة ، بحيث يمكن الاحتفاظ بالحاوية ضمن نطاق ضغط فراغ معين. يستخدم وضع التحكم اليدوي المستخدم لتشغيل مضخة التفريغ مباشرة عبر زر تشغيل / إيقاف مضخة التفريغ. لتلبية احتياجات التجارب المختلفة. (نظام التحكم في الفراغ المتوسط)
12. تكنولوجيا التشغيل البطيء لصمام الملف اللولبي تجعل الصمام اللولبي مفتوحًا بعد 10 ثوانٍ من تشغيل مضخة التفريغ ، بحيث يظل ضغط النظام في أنبوب الفرن دقيقًا ، كما يضمن عدم عودة غاز العادم إلى الفرن نظام الأنبوب للتأثير على التأثير التجريبي (نظام التحكم في الفراغ المتوسط)
13.إنذار ارتفاع درجة الحرارة ، قفل القائمة ، منع ارتفاع درجة الحرارة ، تأخير استعادة الطاقة.
14.باستخدام تكنولوجيا الصمام أحادي الاتجاه ، يتم التحكم في تدفق الغاز ضمن نطاق ضغط يمكن التحكم فيه لضمان السلامة.
15.جهاز خزان خلط الغاز مستخدم ، بحيث يمكن إدخال الغاز إلى غرفة العمل بعد خلطه بالكامل لضمان عدم تسربه.
نموذج | CVD-LTF16P50 | CVD-LTF16P60 | CVD-LTF16P80 | CVD-LTF16P100 | CVD-LTF16P60S | CVD-LTF16P80S | CVD-LTF16P100S | |||
CVD-LTF16T50 | CVD-LTF16T60 | CVD-LTF16T80 | CVD-LTF16T100 | CVD-LTF16P60S | CVD-LTF16T80S | CVD-LTF16T100S | ||||
نطاق الحرارة الشغالة | 300 ~ 1600 | |||||||||
قرار درجة الحرارة | 1 ℃ | |||||||||
التحكم في درجة الحرارة | ± 1 | |||||||||
معدل التسخين | 0 ~ 20 ℃ / دقيقة | |||||||||
طول منطقة التسخين | 260mm | 600mm | ||||||||
طول منطقة درجة حرارة ثابتة | 120mm | 300mm | ||||||||
درجة الفراغ | -0.1 ميجا باسكال | |||||||||
وقت تسخين الفرن الفارغ | ＜ 15 دقيقة | |||||||||
الخارج | صفائح فولاذية مدلفنة على البارد مع طلاء مقاوم للمواد الكيميائية على السطح | |||||||||
جسم الفرن | ألياف موليت الكريستالات | |||||||||
حجم الفرن | 440*390*330 | 780*390*330 | ||||||||
أنبوب الفرن | أنبوب اكسيد الالمونيوم | |||||||||
حجم أنبوب الفرن | φ50*1000 | φ60*1000 | φ80*1000 | φ100*1000 | φ60*1200 | φ80*1200 | φ100*1200 | |||
سخان | قضيب الموليبدينوم السيليكون | |||||||||
قوة التسخين | 4KW | 4KW | 10KW | 10KW | ||||||
طبقة عازلة للحرارة | طبقة مزدوجة لتحويل الهواء القسري | |||||||||
مراقب | P: العرض الرقمي للتحكم في درجة حرارة البرنامج المستورد ؛ T: برنامج التحكم في درجة الحرارة بشاشة ملونة تعمل باللمس مقاس 7 بوصات | |||||||||
طريقة التحكم | استخدام جهاز كمبيوتر صغير تحكم PID / منطقة درجة حرارة مزدوجة من النوع S تحكم منفصل في درجة الحرارة | |||||||||
كيفية التعيين | P: المس الأزرار الخمسة للعمل ، وإعداد العرض الرقمي ؛ T: المس الإصبع لضبطه | |||||||||
طريقة العرض | P: شاشة رقمية LED مزدوجة الخط ؛ T: شاشة LCD ملونة | |||||||||
توقيت | 0 ~ 999.9 ساعة | |||||||||
تشغيل وظيفة | عملية القيمة الثابتة ، تشغيل البرنامج | |||||||||
وضع البرنامج | P: تشغيل البرنامج ، 4 منحنيات ، 40 خطوة إجمالاً ؛ T: 50 خطوة يمكن أن تستدعي البرنامج المخزن | |||||||||
المستشعر | اكتب S. الحرارية | |||||||||
وظيفة مساعدة | P: وظيفة التصحيح ؛ T: وظيفة التصحيح ، تسجيل منحنى في الوقت الحقيقي ، تصدير بيانات قرص U | |||||||||
معدات السلامة | مفتاح حماية تسرب التيار الزائد | مفتاح حماية التيار الزائد | ||||||||
عدد الممرات الهوائية | 3 قنوات (يمكن اختيار عدد القنوات الهوائية حسب الاحتياجات الخاصة) | |||||||||
مجموعة تدفق | 0-0500sccm (قياسي مل / دقيقة ، اختياري) معيار النيتروجين | |||||||||
دقة | ± 1٪ F.S | |||||||||
وقت الاستجابة | ≤4 ثانية | |||||||||
درجة حرارة التشغيل (مقياس التدفق) | 5-45 | |||||||||
ضغط العمل | ضغط المدخل 0.05-0.3 ميجا باسكال (قياس الضغط) | |||||||||
اتصال النظام | استخدم منفاخ التوصيل السريع KF ، وصمام الزعنفة اليدوي عالي الفراغ ، وأداة قياس الفراغ الرقمي للعرض | |||||||||
نطاق فراغ النظام | 10-100 باسكال | |||||||||
مضخة فراغ | درجة الفراغ النظرية النهائية للمضخة الميكانيكية ذات المرحلتين هي 3x10-1Pa ، ومعدل الضخ 4L / s ، ومخرج الهواء مجهز بفلتر زيت ، والجهد المقدر 200V ، والطاقة 0.55Kw | |||||||||
تكوين نظام CVD | فرن أنبوب مفرغ بدرجة 1600 درجة (منطقة درجة حرارة فردية اختيارية ، منطقة درجة حرارة مزدوجة) نظام تحكم في التدفق الكتلي متعدد القنوات نظام فراغ | |||||||||
لدينا ورشة إنتاج قياسية وفريق إنتاج كامل. إنهم ينتجون دائمًا موقفًا جادًا ومسؤولًا لإنتاج كل منتج. يتكون فريق البحث والتطوير لدينا من مهندسين محترفين متعددي الجوانب مثل مهندس التصميم ، وأخصائي التكنولوجيا ، والمتخصص المؤهل ومدير التحكم في العمليات ، إلخ. والبحث والتطوير والاختبار والإنتاج وفحص الجودة والتعبئة والتغليف.
تُستخدم أدوات ومعدات المختبرات الخاصة بنا في العديد من المختبرات العلمية ومؤسسات البحث العلمي والجامعات والمستشفيات ومراكز السيطرة على الأمراض والمؤسسات الأخرى ، ويتم دمجها مع العديد من الأدوية الحيوية المعروفة ، والطاقة الجديدة ، وشركات الإلكترونيات ، وشركات تصنيع الأغذية ، حماية البيئة ، إلخ. التعاون المؤسسي ، يتم تصدير منتجاتنا المستقرة والموثوقة إلى أكثر من 120 دولة حول العالم ، وقد تم الاعتراف بها بشكل كبير من قبلهم ، نعتقد LABOAO ، نحن ننمو معًا!
