توفير بيئة تجريبية بها فراغ ، وجو يمكن التحكم فيه ودرجة حرارة عالية ، وتستخدم في أشباه الموصلات ، وتكنولوجيا النانو ، وألياف الكربون وغيرها من المجالات.
يعد نظام نمو CVD هذا مناسبًا لعمليات CVD ، مثل طلاء كربيد السيليكون ، واختبار موصلية الركيزة الخزفية ، والنمو المتحكم فيه للبنى النانوية ZnO ، وتجارب تلبيد الغلاف الجوي MLCC.
1.الفرن مصنوع من امتصاص الفراغ بألياف الموليت متعدد الكريستالات ، ومجال درجة الحرارة موحد وتوفير الطاقة أكثر من 50٪
2 تضمن تقنية تحويل الهواء والعزل الحراري المطورة ذاتيًا عمر الخدمة وتأثير درجة الحرارة الثابتة لكل مكون في الصندوق
3.عند بدء تشغيل الفرن الكهربائي ، سوف تعمل مروحة العادم تلقائيًا في نفس الوقت. بعد الاختبار ، ستستمر مروحة العادم في العمل حتى تنخفض درجة حرارة جسم الفرن عن 60 درجة مئوية ، وستتوقف مروحة العادم تلقائيًا ، مما يحمي سطح جسم الفرن بشكل فعال.
4 يتم فتح باب الفرن بإيقاف التشغيل التلقائي ، ووظيفة الحماية من درجة الحرارة الزائدة ، ووظيفة حماية التسرب لضمان سلامة الاستخدام.
5.تتبنى الدائرة وضع خرج التسخين المستمر ، وإمدادات الطاقة ثنائية الدائرة ، والأسلاك المنفصلة للتيار القوي والضعيف مما يحسن من استقرار النظام
6 تعتمد وحدة التسخين إشارة التيار المستمر لضبط طاقة الخرج ، مما يتجنب تداخل الكهرباء المستحثة في إشارة التحكم.
7. أزرار معدنية منخفضة الجهد تستخدم لأزرار التشغيل ، مع أضواء مؤشر الحالة ، عملية آمنة وبديهية.
8.أجسام الفرن العلوية والسفلية متصلة بمقابس طيران ، وهي آمنة وموثوقة ومريحة للتوصيل.
9- مجموعة دائرة الغاز مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ بدرجة الغذاء 316 ، والذي يتميز بمقاومة التآكل ، ومقاومة التآكل في الغلاف الجوي ومقاومة درجات الحرارة العالية ، وهو غير مغناطيسي
10.اعتماد أداة عرض التدفق الرقمي ، والتعاون مع وحدة التحكم في التدفق الشامل ، وجمع البيانات والتحكم في التدفق. يتميز بخصائص التكرار الجيد وسرعة الاستجابة السريعة والاستقرار والموثوقية. (نظام التحكم في التدفق الشامل للغاز)
11. وظيفة التحكم التلقائي والتحكم اليدوي ، يمكن لوضع التحكم التلقائي أن يفتح / يغلق مضخة التفريغ تلقائيًا من خلال القيمة المحددة ، بحيث يمكن الاحتفاظ بالحاوية ضمن نطاق ضغط فراغ معين. يستخدم وضع التحكم اليدوي المستخدم لتشغيل مضخة التفريغ مباشرة عبر زر تشغيل / إيقاف مضخة التفريغ. لتلبية احتياجات التجارب المختلفة. (نظام التحكم في الفراغ المتوسط)
12.تكنولوجيا التشغيل البطيء لصمام الملف اللولبي تجعل الصمام اللولبي مفتوحًا بعد 10 ثوانٍ من تشغيل مضخة التفريغ ، بحيث يظل ضغط النظام في أنبوب الفرن دقيقًا ، كما يضمن عدم عودة غاز العادم إلى الفرن نظام الأنبوب للتأثير على التأثير التجريبي (نظام التحكم في الفراغ المتوسط)
نموذج | CVD-LTF12P50 | CVD-LTF12P60 | CVD-LTF12P80 | CVD-LTF12P100 |
CVD-LTF12T50 | CVD-LTF12T60 | CVD-LTF12T80 | CVD-LTF12T100 | |
CVD-LTF12P50S | CVD-LTF12P60S | CVD-LTF12P80S | CVD-LTF12P100S | |
CVD-LTF12T50S | CVD-LTF12T60S | CVD-LTF12T80S | CVD-LTF12T100S | |
نطاق الحرارة الشغالة | 300-1200 درجة مئوية | |||
قرار درجة الحرارة | 1 درجة مئوية | |||
دقة درجة الحرارة | ± 1 درجة مئوية | |||
معدل التسخين | 0-20 درجة مئوية / دقيقة | |||
طول منطقة التسخين | 420 ملم | |||
طول منطقة درجة حرارة ثابتة | منطقة درجة حرارة واحدة ： 210 مم ； منطقة درجة حرارة مزدوجة ： 280 مم | |||
أقصى فراغ | -0.1MP3 | |||
وقت تسخين الفرن الفارغ | ≤ 15 دقيقة | |||
معدل التسخين عند تكوين أنبوب الفرن | أقل من 500 ° C≤5 ° C / دقيقة ； 500-800≤ 10 ° C / دقيقة ； 800-1000≤5 ° C / دقيقة ； 1000-1200≤2t ° C / دقيقة | |||
الخارج | صفائح فولاذية مدلفنة على البارد - طلاء مقاوم للمواد الكيميائية السطحية | |||
جسم الفرن | ألياف موليت الكريستالات | |||
حجم الفرن | خارج ： φ240-550mm ، داخلي ： φ120 * 420mm | |||
أنبوب الفرن | أنبوب الكوارتز | |||
حجم أنبوب الفرن | φ50/43*1000 | φ 60/53*1000 | φ80/72*1000 | φ 100/92*1000 |
سخان | سلك سبائك النيكل والكروم والألمنيوم OCr27A17MO2 | |||
قوة التسخين | منطقة درجة حرارة واحدة ： 3KW ： منطقة درجة حرارة مزدوجة ： 3.2KW | |||
طبقة عازلة للحرارة | طبقة مزدوجة لتحويل الهواء القسري | |||
طريق مفتوح | قلب صدفي الظهر (حوالي 100 درجة) | |||
مراقب | P: العرض الرقمي للتحكم في درجة حرارة البرنامج المستورد ؛ T: برنامج التحكم في درجة الحرارة بشاشة ملونة تعمل باللمس مقاس 7 بوصات | |||
طريقة التحكم | باستخدام جهاز التحكم PID للكمبيوتر الصغير / التحكم في درجة الحرارة المزدوجة من النوع S من النوع | |||
نوع المجموعة | P: المس خمسة أزرار للعمل ، وإعداد العرض الرقمي ؛ T: اللمس بالإصبع والنقر للتعيين | |||
طريقة العرض | P: شاشة رقمية LED مزدوجة الخط ؛ T: شاشة LCD ملونة | |||
توقيت | 0-999.9 ساعة | |||
تشغيل وظيفة | عملية ذات قيمة ثابتة. تشغيل البرنامج | |||
وضع البرنامج | P: تشغيل البرنامج ، 4 منحنيات ، إجمالي 40 خطوة ؛ T: بحد أقصى 50 خطوة ، يمكن استدعاء البرنامج المخزن | |||
المستشعر | اكتب K الحرارية | |||
وظيفة مساعدة | P: وظيفة التصحيح ؛ T: وظيفة التصحيح ، تسجيل منحنى في الوقت الحقيقي ، تصدير بيانات قرص U | |||
معدات السلامة | مفتاح حماية تسرب التيار الزائد | |||
عدد الممرات الهوائية | 3 قنوات (يمكن اختيار عدد القنوات الهوائية حسب الاحتياجات الخاصة) | |||
مجموعة تدفق | 0-0500sccm (قياسي مل / دقيقة ، اختياري) معيار النيتروجين | |||
دقة | ± 1٪ F.S | |||
وقت الاستجابة | ≤4 ثانية | |||
درجة حرارة التشغيل (مقياس التدفق) | 5-45 درجة مئوية | |||
ضغط العمل | ضغط المدخل 0.05-0.3 ميجا باسكال (قياس الضغط) | |||
اتصال النظام | استخدم منفاخ التوصيل السريع KF ، وصمام الزعنفة اليدوي عالي الفراغ ، وأداة قياس الفراغ الرقمي للعرض | |||
نطاق فراغ النظام | 10-100 باسكال | |||
مضخة فراغ | درجة الفراغ النظرية النهائية للمضخة الميكانيكية ذات المرحلتين هي 3 × 10-1Pa ، ومعدل الضخ 4L / S ، ومخرج الهواء مجهز بفلتر زيت ، والجهد المقدر 200V ، والطاقة 0.55Kw | |||
تكوين نظام CVD | فرن أنبوب مفرغ مفتوح 1200 درجة (منطقة درجة حرارة فردية اختيارية ، منطقة درجة حرارة مزدوجة) نظام تحكم في التدفق الكتلي متعدد القنوات نظام تفريغ ملتوي | |||
أبعاد جسم الفرن | 980 مم * 400 مم * 600 مم | |||
أبعاد النظام | 770 مم * 580 مم * 778 مم | |||
الوزن الإجمالي للنظام | 210 كجم | |||
لدينا ورشة إنتاج قياسية وفريق إنتاج كامل. إنهم ينتجون دائمًا موقفًا جادًا ومسؤولًا لإنتاج كل منتج. يتكون فريق البحث والتطوير لدينا من مهندسين محترفين متعددي الجوانب مثل مهندس التصميم ، وأخصائي التكنولوجيا ، والمتخصص المؤهل ومدير التحكم في العمليات ، إلخ. والبحث والتطوير والاختبار والإنتاج وفحص الجودة والتعبئة والتغليف.
تُستخدم أدوات ومعدات المختبرات الخاصة بنا في العديد من المختبرات العلمية ومؤسسات البحث العلمي والجامعات والمستشفيات ومراكز السيطرة على الأمراض والمؤسسات الأخرى ، ويتم دمجها مع العديد من الأدوية الحيوية المعروفة ، والطاقة الجديدة ، وشركات الإلكترونيات ، وشركات تصنيع الأغذية ، حماية البيئة ، إلخ. التعاون المؤسسي ، يتم تصدير منتجاتنا المستقرة والموثوقة إلى أكثر من 120 دولة حول العالم ، وقد تم الاعتراف بها بشكل كبير من قبلهم ، نعتقد LABOAO ، نحن ننمو معًا!
